| 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
| 地址：深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B、C、D栋 电话：00755-27813086 邮箱：service@csl-vacuum.com 网站：www.csl-vacuum.com |
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企业简介：
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司作为国家级专精特新“重点小巨人”企业，成立于2013年3月，是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制，真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。
公司2021年作为首批入选的12家国家战略合作供应商，加入半导体晶圆制造的国产替代专项行动计划，是中国科协“科创中国”射频开关电源创新基地及广东省工程中心。2023年公司荣获中国集成电路创新联盟最高荣誉“IC 创新奖”，2024年公司获得广东省制造业单项冠军。截至2024年底，公司获得104项发明专利授权，先后主持和参与了3个国家工信部和科技部重大专项课题。 目前，恒运昌公司已批量交付龙头装备厂商，并配套龙头晶圆厂商，是国内首家量产、出货过亿元的等离子体射频电源系统厂商，最新一代产品可应用于7-14纳米先进制程。 |
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重点产品介绍：
公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等），引进产品主要包括用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。
等离子体工艺广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等芯片制造的重要环节，并随着先进封装技术的发展应用于更多工艺环节中。 |
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产品展示：
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论文初稿提交截止时间
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2025年6月30日 2025年7月21日
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工业报告征集截止时间
(
2025年7月15日 2025年7月30日
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专题讲座征集截止时间
(
2025年7月15日 2025年7月30日
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论文录用通知时间
( 2025年8月15日 )
论文终稿提交时间
( 2025年9月15日 )
报名系统开放时间
( 2025年8月16日 )
大会时间
( 2025年11月7-10日 )
展览时间
( 2025年11月8日-9日 )
