| 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
| 地址：深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋 电话：0755-27813086 网站：www.csl-vacuum.com |
|
企业简介： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的集成电路装备核心零部件整体解决方案商，国家级高新技术企业及专精特新“小巨人”企业，是中国科协“科创中国”射频开关电源创新基地和广东省射频开关电源工程技术中心依托单位，2023年荣获中国集成电路创新联盟最高荣誉“IC 创新奖”。
公司提供射频电源等“卡脖子”技术产品，于国内率先突破全数字射频电源技术瓶颈，产品性能达到或超过同一节点国外同类产品的技术水平，填补了国产射频电源系统在高端集成电路装备上应用的空白，助力集成电路产业自主可控和升级换代。 公司已批量交付集成电路装备领先厂商,并配套领先晶圆厂商，产品技术和交付数量在国内等离子体电源领域处于领先地位，已在成熟制程的多个工艺环节实现对进口产品的替换，有力支撑了集成电路生产的延续性、扩产的延续性和供应链延续性。 当前，国产射频电源系统在集成电路装备上的份额仅为2%左右，在国家大力支持发展全国产化产线、实现全面自主可控的战略机遇下，公司深耕国内市场，进一步地，实现先进制程射频电源的完全自主。 恒运昌公司立志做集成电路装备核心零部件的领跑者，履行为中国集成电路与真空装备国产化贡献“芯”力量的使命。 |
|
重点产品介绍： 数字化射频电源及匹配器，大功率直流电源，以及真空系统相关（真空泵，流量计，真空测量仪器等）的配套产品销售。
公司量产产品包括 13.56M，400K，27.12M，40K等应用于晶圆制造以及光学镀膜行业的薄膜沉积，刻蚀，混合键合，溅射的射频电源，匹配器，以及配套阻抗调整器，滤波器等全系列产品。 |
产品展示：   |
论文初稿提交截止时间
(
2024年6月30日 2024年7月22日
)
工业报告征集截止时间
(
2024年7月15日 2024年7月30日
)
专题讲座征集截止时间
(
2024年7月15日 2024年7月30日
)
论文录用通知时间
( 2024年8月15日 )
论文终稿提交时间
( 2024年9月15日 )
报名系统开放时间
( 2024年8月16日 )
大会时间
( 2024年11月8-11日 )
